刚性防水屋面主要是指钢筋细石混凝土防水屋面，细石混凝土的厚度一般为40~50mm，强度为C20~C25，钢筋为Φ4~6间距100~200，双向单层。分格缝间距不大于36平方米，约为6*6米，分格缝的宽度10~25，缝内灌沥青类密封材料时，缝宽宜20~25mm；缝内灌聚氨酯等高分子密封材料时，缝宽宜10~20。刚性防水屋面的另一个关键是细石混凝土与下面构造层必须能滑移，一般用干铺油毡等材料进行隔离，以防热胀冷缩时，下面构造层不要对刚性防水层产生约束力，使细石混凝土被拉裂而造成渗漏水。
由于刚性防水屋面的防水性能较差，使用年限不长，所以在将要出版的新《屋面工程技术规范》中，已取消了刚性防水屋面。